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国产制冷剂

  • R116制冷剂

R116制冷剂

  • 发布时间:2019-03-14 10:31
  • R116(六氟乙烷,C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。
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R116(六氟乙烷,C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。R116可与R23(三氟甲烷)一起用于配置制冷剂R508A(R116占61%)及R508B(R116占54%)。

R116制冷剂参数

名称:R116、FC-116 中文名称:六氟乙烷,电子级氟碳,全氟乙烷,氟里昂116
英文全称:hexafluoroethane 化学分子式:CF3CF3、C2F6
分子量:138 标准沸点:-78℃
临界温度:20℃ 临界压力:3MPa(绝压)
临界密度:0.613g/cm3 CAS编号:76-16-4
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